コスト削減に寄与する汎用性に優れたMFC
CVD、PVD、拡散、エッチングなど様々なアプリケーションに適したAera Transformerデジタルマスフローコントローラー（MFC）とデジタルマスフローメーター（MFM）は、お客様のプロセス改良に寄与し、優れた柔軟性と効率を実現することによって、歩留まりの改善、生産性の向上、ならびにコストの削減に寄与貢献します。
新センサー・バルブ技術、フィールドで実績のある基幹部品、ならびに高速デジタル回路を搭載して、精密なガスフロー制御を実現します。優れた信頼性と卓越した応答性、正確性、再現性を誇り、汎用性に富んだ、お客様が重点を置く価値や機能に合ったシングルガス対応ならびにマルチガス・マルチレンジ対応MFCを取り揃えています。
Aera MFC Transformerシリーズの特長
- マルチガス・マルチレンジ
- 高速応答性
- 100％メタルシール・高純度設計
- フィールドでプログラム可能 ※
- 再校正をしなくても様々なガス選択が可能 ※
- DeviceNet、RS-485、アナログ制御対応
- 多彩な警告・診断機能
- RoHS適合
※ マルチガス・マルチレンジTransformer MFCのみ対応。