高精度・信頼性のメタルシールMFC
FC-R7800シリーズは、高精度の流量制御を行うだけでなく、メタルシールによる優れた高い気密性を備え、主要なガス制御アプリケーションに適したシステムです。
業界標準またはAera独自の電気系接続部を選択できるため、利便性があり、既存のマスフローコントローラー（MFC）と素早く簡単に交換できます。
Aera MFC FC-R7800シリーズの特長
- 高速応答性 − 設定値入力後1秒未満で流量安定
- 耐腐食設計
- メタルシール採用
- VCR準拠の接続部
- 10sccm〜200slmのフルスケール流量レンジ
- ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ
- 1x10-11Pa・m3/sec（He）以下の外部リークレート