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Hitachi

日立オートモティブシステムズ&ナガノ株式会社

日立金属 Aera FC-R7700シリーズ ラバーシールタイプ

FC-R7700

Aera FC-R7700シリーズ マスフローコントローラ

経済性に優れた高精度ラバーシールMFC

半導体、FPD、データ記憶装置、産業用真空機器、工業用コーティング等の市場では、CVD、PVD、エッチング、イオン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食性ガスを使用したアプリケーションが展開されています。
Aera FC-R7700シリーズは、高い信頼性と優れた性能でプロセスおよび装置エンジニアの業務の円滑化に対応いたします。

Aera MFC FC-R7700シリーズの特長

  • 高速応答性 ─ 設定値入力後2秒未満で流量安定
  • エラストマー(ゴム)シール
  • VCR、VCO、Swagelok準拠の接続部
  • 10sccm〜200slmのフルスケール流量レンジ
  • ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ
  • 1x10-7Pa・m3/sec(He)以下の外部リークレート