PI技術により急激な圧力変動の影響を除去し安定した流量制御を実現するハイエンドMFC
この画期的な技術プラットフォームは、従来の技術と比べて、応答性、ガス流量安定性、計測精度を向上させるとともに、リアルタイムプロセス制御において優れた性能を発揮します。その優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、生産歩留まりを改善します。
PI-980シリーズは、従来型のサーマル式の構造に、圧力センサ、温度センサならびに当社独自のNeuralStep制御技術を一体化することによって、従来型の製品に使われていたハイコストなガスパネル部品の必要性を減少します。また、マルチガス・マルチレンジ機能により、予備在庫の必要性が劇的に減り、コスト効率の改善にいっそう貢献します。この次世代MFC技術は、統合診断機能に加え、フィールドですでに実績のある当社のD980シリーズ製品のプラットフォームと組み合わせたことで、装置稼働時間を向上させるとともに、迅速かつ容易なトラブルシューティングを実現します。
Aera MFC PI-980の特長
- プレッシャーインセンシティブ（圧力の影響を受けにくい）制御が可能
- 高い計測精度と再現性
- IGS方式対応
- 実ガスによる精度検証済み、マルチガス・マルチレンジにも対応
- フィールドでのプログラムが可能
- DeviceNet、RS-485、アナログコントロール
- ディスプレイ搭載
- 自己診断機能内蔵
- 100％メタルシール、高純度仕様