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Hitachi

日立Astemo&ナガノ株式会社

半導体ガス供給装置のガスパネル、ガスボックスに最適 長野計器ZT60 半導体ガス用デジタル圧力計 各種継手メーカーに対応 VCR,UJR,CVC

ZT60

ZT60半導体産業用デジタル圧力計

長野計器ZT60は、半導体ガス用デジタル圧力計の代名詞であり、ロングセラーのクリーンデジタル圧力計です。

感圧部に耐久性・安定性に実績のある半導体歪ゲージを使用した半導体ガス用のデジタル圧力計です。
コンパレータ出力、アナログ出力や、ループチェック機能等の多彩なインテリジェント機能を装備しており信頼性の高い計測が行えます。

長野計器ZT60 の特長

  • SUS316Lの継手部に、直接Co-Ni系合金又は、SUS316L製の高耐食圧力センサを溶接することにより、耐食性、気密性、長期安定性、信頼性に優れています。※
  • 明るく、見やすい大型4桁LED表示を採用しており、また表示部は縦方向、横方向を任意に選択できます。
  • ループチェック機能により点検業務の省力化が図れ、またスケーリング機能(表示、出力)とゼロ点調整機能により面倒な調整が不要です。
  • 取付形式が、水平取付、垂直取付から選択できると共に、接続継手の種類が豊富です。

※接ガス部材質が測定する気体に適合したものであることをご確認ください。