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Hitachi

日立Astemo&ナガノ株式会社

小形で半導体ガス供給装置のガスパネル、ガスボックスに最適 長野計器ZT67 半導体ガス用デジタル圧力計 各種継手メーカーに対応 VCR,UJR,CVC

ZT67

ZT67半導体産業用小形デジタル圧力計

長野計器ZT67は従来のデジタル圧力計よりもさらに小さく、さらに見やすく、グレード別にラインアップした半導体ガス用の小形デジタル圧力計です。

高信頼の圧力センサを搭載し、従来のデジタル圧力計よりもさらに小さく、さらに見やすく、グレード別にラインアップした半導体ガス用の小形デジタル圧力計です。UCグレードから一般用まで測定ガスに合わせて幅広く選定できます。

長野計器ZT67の特長

  • SUS316Lの継手部に、直接Co-Ni系合金又は、SUS316L製の高耐食圧力センサを溶接することにより、耐食性、気密性、長期安定性、信頼性に優れています。※
  • 小形□30mmサイズ
  • 文字高さ10mmの大型LED
  • 独立2出力のコンパレータ
  • 豊富なフィッティングバリエーション

※接ガス部材質が測定する気体に適合したものであることをご確認ください。