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Hitachi

日立Astemo&ナガノ株式会社

半導体洗浄の超純水・薬液供給装置に最適 長野計器KL95高耐食デジタル圧力計 各種継手メーカーに対応 日本ピラー、フローウエル、インテグリス

KL95

KL95圧力トランスミッタ

長野計器KL95は、フッ素樹脂ダイアフラムシール式の高耐食デジタル圧力計です。

Oリングレス構造の採用でコンタミの発生、金属溶出が少なく、半導体製造装置分野の圧力監視用途に対応します。
指示部一体型であり、4桁デジタル表示、半導体接点出力2点アナログ出力(電圧または電流)を装備しています。

長野計器KL95の特長

  • 接液部は、オールフッ素樹脂製(PFA、PTFE)で、腐食に対する耐性が向上しました。
  • ケース保護構造はIP54で、小型・樹脂ボディでウェットステーション用途の要望に応えました。
  • 明るく見やすい4桁LED表示を装備し、1台で表示器・伝送器・スイッチの機能を搭載しています。