長野計器ZT15は半導体ガス用圧力センサの代名詞であり、国内外で数多くの納入実績を誇るロングセラーのクリーン圧力センサです。
蒸着形半導体歪ゲージを用いた検出部と内蔵の電子回路で、圧力を電気信号に変換し、伝送する半導体産業用の圧力変換器です。高純度ガス用のUC・EPグレ−ドと、気密性を損うことなく、ガス配管等のコストダウンに対応したBA・GPグレ−ドがあります。
長野計器ZT15圧力センサの特長
- SUS316Lの継手部に、直接Co-Ni系合金又は、SUS316L製の高耐食圧力センサを溶接することにより、耐食性、気密性、長期安定性、信頼性に優れています。※
- ガスが滞留するデッドゾーンがほとんどありません。
- ゲージ圧、連成、絶対圧の各レンジを揃えました。
(絶対圧レンジにつきましては別カタログをご覧ください。)
※接ガス部材質が測定する気体に適合したものであることをご確認ください。