長野計器KL92は、フッ素樹脂ダイアフラムシール式の薬液対応圧力センサです。 Oリングレス構造の採用でコンタミの発生、金属溶出が少なく、半導体製造装置分野の圧力監視用途に対応します。 特長 接液部はオールフッ素樹脂製(PFA、PTFE)で、コンタミの発生が少ない構造。フッ酸等の腐食性薬液に対しても耐性が向上。 ケース保護構造IP54 小型、樹脂ボディでウェットステーション用途の要望に応えました。