電池式・接点/アナログ・2線式各種
シリコンキャパシタンス・センサ(SCセンサ)を液封し、接液部をステンレス・ダイアフラム(SUS316L)で構成するセンサモジュールを搭載した多機能デジタル差圧計です。幅広い測定媒体(気体・液体)に対応し、微小な差圧を高感度で測定できます。
特長
シリコンキャパシタンス型センサモジュールは、マイクロマシニングによって形成された微小なダイアフラムと電極により構成されます。ダイアフラムが過大圧に対し、上下のガラスで保護され、さらにSUS316Lのダイアフラムにより液封されているため、微圧でありながら、信頼性が高い構造となっています。